真空退火爐即在爐腔這一特定空間（jiān）內利用真空係統由（yóu）真空泵、真空測（cè）量裝置、真空閥門等元件經過精心組裝而成、將（jiāng）爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小於一個標準大氣壓，爐腔內空間從而實現真空狀（zhuàng）態，這就是真空爐。

真空爐（lú）一般由主（zhǔ）機、爐膛、電（diàn）熱裝置、密封爐殼、真空係統、供電係統、控（kòng）溫係統和（hé）爐外運輸車等組成（chéng）。密封爐殼用碳鋼或不鏽鋼焊成，可拆（chāi）卸部件的接合麵用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱後變形（xíng）和密封材料受熱變（biàn）質，爐殼一般用水冷（lěng）或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。根據爐子用途爐膛內部裝有不同（tóng）類型的加（jiā）熱元件（jiàn），如（rú）電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝（guō），有的還裝有自動澆注（zhù）裝置（zhì）和裝卸料的（de）機械手等。真空係統主要由真空泵、真空閥門和真空（kōng）計等組成。